根据不同水刀切割机床上所要求的性能、规格，包括成本去选择相应的最佳的模块，即系统和关键部件。那么，超精密机床的构成模块也应该去根据不同机床上所要求的性能、规格，包括成本，必须选择最佳的模块，对于主轴系统，可以使用超精密空气静压轴承主轴，或者通过零件的超精密化使用超精密滚动轴承工作台，同样可以达到空气静压轴承的精度。对于直线导轨，有限型v-v滚动导轨比较理想。为了进一步提高这些模块的性能，高精度的装配、研磨、刮研、检测等是不可缺少的。

    一、典型超精密机床

     超精密加工机床是超精密加工最重要、最基本的加工设备。超精密加工对超精密加工机床的基本要求如下：

    1)高精度。包括高的静精度和动精度。主要的性能指标有几何精度、定位精度和重复定位精度以及分辨率等。

    2)高刚度。包括高的静刚度和动刚度。除车身刚度外，还要考虑接触刚度，及由工件、机床、刀具、夹具所组成的工艺系统刚度。

    3)高隐定性，在规定的工作环境下和使用过程中能长时间保持精度，具有良好的耐磨性、抗振性等。

    4)高自动化。为了保证加工质量的一致性，减少人为因素影响，采用数控系统实现自动化。

    以下是超精密机床发展过程中些典型的、有代表性的机床，它们基本代表了超精密加工技术和超精密机床的发展过程。

    1.大型光学金刚石车床-LODTM

    LODTM由美国的国防部高等研究计划局（DARPA）投资，LLL的实验室和空军的Wright空研究所等等一些单位一起合作并且研制。从1980年3月，历时了40个月，在1983年7月初步制成加工光学零件的大型光学金刚石的车床(LODTM—Large Optical Diamond Tuming Machine )，在1984年正式的研制成功了。这种的机床可以加工二φl625mmx500mm、重1360kg的大型的金属的反射镜。在操作人员为减少工件自身的重量产生的变形影响，机床采用立式结构。LLL实验室在美国的能源部的鼓励以及支持的情况下，他们开发了DTM-3型大型超精密金刚石车床。 

    2.FG-001超精密机床

    德国的FG-OOI超精密机床。该机床有三个直线运动轴和一个回转轴构成，驱动电动机皆为步进电动机，可实现纳米级的非球曲面加工。 

    3.0AGM2500大型超精密机床

    在英国的Cranfield公司以及SERC Brieish( Science and EnpneennS Research Council)于1991年合作研制成功的OAGM 2500大型的超精密机床，这种大型的机床是用于X射线天体望远镜的大型曲面反射镜的精密磨削和坐标测量，如图2-6所示。该机床有- +2500mm的高精度的回转型工作台，其最大加工尺寸为2500mmx2500mmx6lOmm。该机床由精密数控系统驱动，运动位置检测用分辨力为2.5nm的ZYGO AXIOM双频激光测量系统。机床的x和y向导轨采用液体静压，z向的磨轴头和测量头采用空气轴承。床身采用型钢焊接结构，中间的是用人造花岗岩填充，可以保证结构的高刚度、尺寸的高度稳定以及很强的振动衰减的能力。 

     4. AHNIO型高效专用车削、磨削超精密机床

    在日本，所谓的超精密加工技术和超精密机床技术发展很快，一些领域已超过美国。TOYOTA公司生产的AHNIO型高效的专用的超精密车床图2-7所示。在机床主轴由空气轴承支承，所用的刀架设计成为滑板结构，x向移动距离应该为250mm，z向移动距离应该为200mm，加工直径应该为lOOmm。由气动透平驱动的砂轮轴转速为100000r/min。采用激光测量反馈系统，直线移动分辨力为0.01μm，定位精度全行程0.03μm。B轴回转分辨力为1.3”。该机床是一台非球曲面加工机床，用于加工塑料高精度透镜的金属模。因模具材料为钢，需要磨削，故该机床可用于车削、铣削、磨削并带有精密测量装置。为实现这一目标，此种机床有一个x和y向调整的刀架及绕B轴转动的高精度转台，借助着三轴精密数控，可以加工平面、球面和非球曲面。刀具的切削刃（或砂轮廓形）通过显微镜的放大显示在屏幕上，而且方便而且易于定位。对于非球曲面曲率半径只有几毫米的塑料透镜模具，操作人员用指状砂轮廓削，砂轮轴相对于工件转成+ 45°，以避免刀具与工件发生干涉。测量时，工件（即金属模）主轴逆时针旋转90°，呈垂直向上状卷。模具测量仪的测针下降到工件，左右移动进行测量，尺寸数据经过计算在屏幕上显示出来。这种机床的加工的模具形状精度为0.05μm以及表面的粗糙度R0.025μm。

    以上是关于水刀及其他超精密机床及其关键部件的介绍。